PI Develop Magnetic Levitation Linear Stage avec contrôle 6DOF

PI, fabricant d'équipements de nanopositionnement et d'étages à coussin d'air, a développé un démonstrateur technologique de haute précision à base de maglev. La lévitation magnétique est une technologie de mouvement sans friction qui utilise des champs magnétiques pour faire léviter et propulser des objets. La technologie MagLev est utilisée dans diverses applications, notamment les trains à grande vitesse et les paliers magnétiques, et présente de grands avantages dans les applications de contrôle de mouvement de précision et de nanopositionnement.

Le principe de base de la lévitation magnétique est que les pôles magnétiques se repoussent. Pour réaliser la lévitation magnétique dans sa forme la plus simple, deux aimants sont utilisés ; un aimant est placé dans l'objet qui doit être mis en lévitation, et l'autre aimant est placé en dessous.

Pour rendre ce principe utile pour le nanopositionnement et le contrôle de mouvement de précision, par exemple dans les étapes de translation linéaire, les aimants de la base doivent être des bobines contrôlables électriquement et il faut plus qu'une simple paire pour contrôler également le mouvement latéral, le mouvement vertical et le tangage, le lacet et le roulis. Un système de détection de position haute résolution est également requis pour la rétroaction vers le contrôleur de mouvement. Étant donné qu'aucun roulement mécanique ne limite le mouvement de la plate-forme de scène linéaire, les six degrés de liberté sont disponibles pour corriger toute insuffisance de roulement, avec un puissant contrôleur multi-axes.

Les applications potentielles des systèmes de nanopositionnement maglev peuvent être trouvées dans le test et la métrologie des semi-conducteurs, la photonique, l'optique et la microscopie à haute résolution. Les avantages sont l'absence de génération de particules (compatible salle blanche), zéro usure et zéro entretien, un mouvement contrôlable multidimensionnel dans un boîtier compact et une durée de vie pratiquement illimitée. Contrairement aux étages à coussin d'air, aucune alimentation en air comprimé n'est nécessaire.

PI a investi dans la recherche sur la lévitation magnétique pour les applications de nanopositionnement et travaillera avec les clients pour faire avancer la technologie ensemble.

Pour plus d'informations : www.pi-usa.us



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