Relever les défis du contrôle de mouvement dans les applications de nano-métrologie

La demande d'étages capables de nanomètres augmente de façon exponentielle à mesure que la tendance à atteindre une plus grande précision et un meilleur contrôle dans les applications de métrologie et de nano-métrologie se poursuit.

Avec l'avènement des technologies de capteurs de pointe, les capacités de mesure sont devenues de plus en plus sensibles, permettant la détection et la caractérisation de caractéristiques et d'écarts infimes dans les échantillons. Pour exploiter tout le potentiel de ces capteurs avancés, il est essentiel de disposer d'étages de contrôle de mouvement capables de déplacer les échantillons ou les capteurs avec une précision et une stabilité extrêmes.

La capacité de parcourir plusieurs centaines de millimètres tout en maintenant une précision de l'ordre du nanomètre ouvre de nouvelles possibilités pour la recherche, le contrôle qualité et les processus de fabrication qui nécessitent des mesures complexes et des ajustements fins. En conséquence, le développement d'étages capables de nanomètres est devenu crucial pour répondre aux exigences de la métrologie moderne et débloquer de nouvelles avancées dans diverses industries.

Toute imprécision ou erreur dans le mouvement peut affecter considérablement les résultats de mesure. Même des déviations ou des vibrations mineures pendant le mouvement des capteurs peuvent introduire des bruits et des artefacts indésirables, compromettant la précision globale des mesures.

« Pour surmonter ce défi, les systèmes de mouvement doivent être conçus avec une précision et une stabilité exceptionnelles. Ils doivent être capables d'atteindre une résolution inférieure au nanomètre et de maintenir des tolérances serrées sur toute la plage de mouvement. En surpassant la précision des capteurs, ces systèmes de mouvement de haute précision garantissent que les mesures obtenues ne sont pas limitées ou compromises par le mouvement lui-même, permettant aux chercheurs et aux industries d'atteindre le plus haut niveau de précision de mesure possible », explique Bill Hennessey, président d'ALIO Industries.

Pour de telles applications, ALIO fournit ses étages Z verticaux et ses bases XY monolithiques. Les étages Z d'ALIO se distinguent par leur conception innovante, offrant une solution verticale entièrement linéaire et offrant des performances comparables aux systèmes à palier à air.

Hennessey poursuit : « Ce qui distingue l'étage Z d'ALIO, c'est sa précision exceptionnelle, qui surpasse d'un ordre de grandeur les solutions traditionnelles de calage en Z. Cela signifie que notre étage Z peut atteindre des niveaux de précision et de stabilité inégalés dans les applications de positionnement vertical.

En éliminant les inconvénients associés aux mécanismes traditionnels de coin en Z, tels que la non-linéarité et l'hystérésis mécanique, la conception unique d'ALIO garantit un mouvement vertical cohérent et fiable avec une résolution inférieure au nanomètre, ouvrant de nouvelles possibilités pour les applications nano-métroloy et la nanotechnologie, la fabrication de semi-conducteurs et la fabrication d'optiques, permettant aux équipementiers d'atteindre des niveaux de performances qui étaient auparavant inaccessibles avec les solutions conventionnelles.

L'utilisation d'une platine Z verticale sur une base XY monolithique permet de monter la charge utile du client directement sur le dessus de la platine en ligne avec le moteur, l'encodeur, les roulements et le contrepoids, minimisant ainsi les supports en surplomb et réduisant considérablement les erreurs potentielles d'Abbé (distorsions optiques qui se produisent en raison de la variation des distances focales pour différentes longueurs d'onde de lumière, entraînant des franges de couleur et une réduction de la netteté de l'image).

Les étages monolithiques XY d'ALIO introduisent une rectitude et une planéité de déplacement sans précédent avec une précision nanométrique pour réduire l'incertitude de mesure pour les équipementiers de métrologie, garantissant des données de mesure plus précises et fiables, ce qui est crucial pour le contrôle qualité, la recherche et les processus de fabrication de nouvelle génération.

Pour plus d'informations : www.alioindustries.com

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